压热设备

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中型压热器
半导体工程用

모델명   :   IR-PC-700
제품특징   :   半导体工程用

产品型号 (Specification)

型号 PO-700
加热方式 对流加热
规格
(长x宽x高 ,mm)
内部尺寸 W560 × D650 × H405
外部尺寸 W1400 × D2060 × H1590
内部材质(处理腔) SUS304抛光
温度控制方式 利用PLC的可编程PID控制
热电偶式 K-Type型
温度均匀性 设置温度:±3℃ (建议使用温度230℃)
内部工作室压力 16 kgf/㎠ (Max 22 kgf/㎠)
加压方式 由CDA&Booster提供
压力控制 增加/减少 阀门(部分)控制
加热器 护套加热器
空气循环方式 多叶热风扇+电机
电机轴密封方式 磁性驱动器密封